Categoría producto
Jar contacto ko ngekihe

Haohai Meterials ar Metal Co., Ltd.

Haohai Titanium Co., Ltd.


'Mui:

PlantNo.19, TusPark, CenturyAvenue,

XianyangCity, ShaanxiPro., 712000, China


Tel:

+ 86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


Correo electrónico:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



'Ñu hontho
029 3358 2330

Noticias

Página inicio > NoticiasContenido

Silicon Sputtering Sprioc Riachtanais Feidhmíochta

Cad iad na ceanglais feidhmíochta is mó le haghaidh spriocanna sputtering sileacain?

Silicon sprioc íonachta sputtering

Is íonachta ar cheann de na táscairí is mó ar fheidhmíocht spriocanna sputtering sileacain toisc go bhfuil an íonacht an sprioc sputtering i bhfeidhm go mór ar na hairíonna an scannán. Mar sin féin, in iarratais praiticiúla, nach bhfuil na ceanglais íonachta le spriocanna sputtering sileacain mar an gcéanna. Mar shampla, leis an forbairt go mear ar an tionscal micrileictreonaic, méid wafer ó 6 ", 8" go 12 ", agus an leithead wiring ó 0.5um laghdú go dtí 0.25um, 0.18um nó fiú 0.13um, roimh 99.995% den sputtering sileacain éilíonn an íonacht an sprioc is féidir freastal ar riachtanais an próiseas 0.35umIC, agus ullmhú líne 0.18um ar an íonacht an sprioc sputtering sileacain 99.999% nó fiú 99.9999%.

Silicon ábhar neamhghlaine sprioc sputtering

Is iad Silica sputtering Na neamhíonachtaí sna solaid sprioc agus an ocsaigin agus taise sa pores an fhoinse is mó de éilliú ar an scannán i dtaisce. Is iad na ceanglais maidir le cion eisíontas éagsúla spriocanna sputtering sileacain chun críoch éagsúil éagsúil chomh maith. Mar shampla, tá an tionscal leathsheoltóra le alúmanam íon agus sprioc sputtering cóimhiotal alúmanaim, an t-ábhar alcaile agus ábhar eilimint radaighníomhach riachtanais speisialta.

Silicon dlús sprioc sputtering

D'fhonn laghdú ar an porosity na solad sprioc sputtering sileacain agus ar fheidhmíocht an scannán sputtered fheabhsú, tá sé inmhianaithe go ginearálta le haghaidh an sileacain sputtering sprioc a bheith acu dlús níos airde. An dlús an sprioc sputtering difear ní amháin ar an ráta sputtering, ach freisin tionchar na airíonna leictreach agus optúil ar an scannán. Dá airde an dlús ar an sprioc sputtering sileacain, is amhlaidh is fearr ar fheidhmíocht an scannán. Lena chois sin, méadú ar an dlús agus neart an sprioc sputtering sileacain gceadaítear sin leis an sprioc sputtering sileacain a sheasamh níos fearr strus teirmeach le linn sputtering. Tá Dlús freisin ar cheann de na príomhtháscairí feidhmíochta spriocanna sputtering sileacain.

Silicon spriocmhéid Grán sputtering agus dáileadh méid gráin

De ghnáth is é an sprioc sputtering struchtúr polycrystalline le méid gráin san ord miocrón do milliméadar. Mar an cineál céanna sprioc sileacain sputtering, is é an ráta sputtering an sprioc sputtering sileacain fíneáil níos tapúla ná sin ar an sprioc sileacain sputtering garbh. Is é an ráta sputtering beag (dáileadh aonfhoirmeach) Is é an dáileadh tiús an scannán i dtaisce níos comhionainne.