Categoría producto
Jar contacto ko ngekihe

Haohai Meterials ar Metal Co., Ltd.

Haohai Titanium Co., Ltd.


'Mui:

PlantNo.19, TusPark, CenturyAvenue,

XianyangCity, ShaanxiPro., 712000, China


Tel:

+ 86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


Correo electrónico:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



'Ñu hontho
029 3358 2330

Noticias

Página inicio > NoticiasContenido

Feidhmiú Sprioc Sputtering All-Pt Alloy i Déantúsaíocht leathsheoltóra

Faoi láthair, is é an príomh-mhodh a bhaineann le scannán silicídithe nicil-platanam a ullmhú den chéad uair ná ciseal ionchlannála ian i réigiún sileacain an tsubstráit leathsheoltóra, agus ansin sraith de shraith epitaxial sileacain a ullmhú air, agus ina dhiaidh sin sputtering ar dhromchla an silicon epitaxial ciseal ag magnetron sputtering Sraith de scannán NiPt, agus ar deireadh tríd an bpróiseas imoibrithe chun scannán silicíde platanam nicil a dhéanamh.

Filil Silicide Platinum Nickel in Iarratais Déantúsaíochta leathsheoltóra:

1. Iarratas i Déantúsaíocht Diode Schottky: Sprioc Sputtering Alloy Is é is gnách go bhfuil feidhm ag scannáin silicíde nicil-platanam i bhfeistí leathsheoltóra deiseanna Schottky. Le forbairt teicneolaíocht dé-óid Schottky, tá sileacíde miotail - tá teagmháil sileacain in ionad na teagmhála traidisiúnta - sileacain, chun lochtanna agus éilliú dromchla a sheachaint, trí thionchar an stáit dromchla a laghdú, feabhas a chur ar shaintréithe dearfacha an fheiste, tionchar fuinnimh a aisiompú, cumas ard-teocht, frith-statach, frith-dhó. Is é an silicíde nicil-platanam an t-ábhar teagmhála idéalach a bhaineann le bacainn Schottky, ar thaobh amháin cóimhiotail nicil-platanam mar mhiotail bhacainn, le cobhsaíocht mhaith teocht ard; ar an láimh eile, athraíonn Cóimheas Sputtering Alloy tríd an gcóimheas comhdhéanta cóimhiotail chun Coigeartú airde bacainn a bhaint amach. Ullmhaítear an modh trí sputtering an ciseal cóimhiotail nicil-platanam ar an tsubstr leathsheoltóra sileacain N-cineál le magnetron sputtering, agus déantar athfhriotú i bhfolús sa raon 460 ~ 480 ℃ ar feadh 30 nóiméad chun an sraith bacainn NiPtSi-Si a dhéanamh. De ghnáth ní mór sputter NiV, TiW agus bacainn scaipeála eile a sputter, ag bacadh idirghabhála idir-mhiotail, feabhas a chur ar fheidhmíocht frith-tuirse na feiste.

2. Iarratais i gciorcaid leathsheoltóra comhtháite: Úsáidtear go forleathan freisin silicídí níicil-platanam i bhfeistí micrelectrónacha VLSI i dteagmháil leictreoid foinse, draenála, geata agus miotail. Faoi láthair, tá Ni-5% Pt (codán móide) curtha i bhfeidhm go rathúil ar theicneolaíocht 65nm, Ni-10% Pt (codán móide) i bhfeidhm ar theicneolaíocht 45nm. Le laghdú breise ar línelíne an ghléas leathsheoltóra, is féidir feabhas a chur ar an ábhar Pt sa chóimhiotail nicil-platanam chun an scannán teagmhála NiPtSi a ullmhú. Sprioc Sputtering Alloy Is é an chúis is mó gur féidir leis an méadú ar an ábhar Pt sa chóimhiotail cobhsaíocht ardteochta an scannáin a fheabhsú agus an Dealramh comhéadan a fheabhsú, iontas na lochtanna a laghdú. Tá tiús an tsraith scannáin cóimhiotail nicil-platanam ar dhromchla an gléas sileacain chomhfhreagrach de ghnáth ach thart ar 10 nm, agus is é an modh a úsáidtear chun an silicíd nicil-platanam a dhéanamh ná céimeanna amháin nó níos mó. Tá an teocht sa raon de 400 go 600 ° C ar feadh 30 go 60 s An

Le blianta beaga anuas, tá na taighdeoirí d'fhonn laghdú ar fhriotaíocht iomlán silicídiú nicil-platanam, scannán tanaí NiPtSi déantúsaíochta paitinnithe IBM: an chéad chéim de thalamh ábhar ard Pt de thalamh scannán cóimhiotail nicil-platanam, Alloy Sputtering Target an dara hábhar Pt taiscéalaíochta Níl scannán nicil Pt i gceist leis an scannán cóimhiotail nicil-platanam níos ísle. Cuidíonn bunú scannán silicídithe nicil-platanam ar dhromchla an ábhair íseal Pt, chun friotaíocht fhriotaíochta na nicile-platanam, mar sin sa nód teicneolaíochta nua, a laghdú, is féidir úsáid a bhaint as ábhar Pt éagsúla de chóimhiotail cóimhiotail nicil-platanam sprioc Ullmhaíodh an scannán teagmhála silicíde platanam níicil le struchtúr grádán.