Categoría producto
Jar contacto ko ngekihe

Haohai Meterials ar Metal Co., Ltd.

Haohai Titanium Co., Ltd.


'Mui:

PlantNo.19, TusPark, CenturyAvenue,

XianyangCity, ShaanxiPro., 712000, China


Tel:

+ 86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


Correo electrónico:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



'Ñu hontho
029 3358 2330

Tecnología

Página inicio > TecnologíaContenido

Planar Magnetrons i PVD Coatings


Planar Magnetrons i PVD Coatings


Is é an Pleanar Magnetron, go bunúsach, modh clasaiceach "dé-óid" sputtering catóide le cur le sraith maighnéad buan taobh thiar den chaidóid. Socraítear an sraith maighnéadach ionas go mbeidh an réimse maighnéadach gnáth don réimse leictreach i gcosán dúnta agus foirmeann sé "tollán" teorann a ghabhann leictreon in aice le dromchla an sprioc. Feabhsaíonn an gaisteoireacht leictreon seo éifeachtúlacht fhoirmiú ian gáis agus cuireann sé srian ar an plasma scaoilte, rud a fhágann go bhfuil sé níos airde ag brú gáis níos ísle agus go laghdaíonn sé ráta taisce níos airde do chótaí PVD (Tiúsáil Ghlais Fhisiciúil).


Baineadh úsáid as roinnt cruthanna difriúla cathodóid / sprioc Magnetron Sputtering, ach tá an ceann is coitianta ciorclach agus dronuilleogach. Is minic a aimsítear maighnéadraí dronuilleogacha i gcórais níos mó i gcomhréir le Magnetron Sputtering Córais ina scanadh na foshraitheanna go díreach thar na spriocanna ar chineál éigin de chrios iompair nó iompróir. Is minic a fhaightear Magnetrons Ciorclán i gCórais Baisc Confocal ar scála níos lú nó i stáisiúin aonair sclábhaithe in uirlisí braisle.


Cé gur féidir patrúin níos casta a dhéanamh, is é an chuid is mó de na cathóidí - lena n-áirítear beagnach gach ceann de na ciorcail agus dronuilleogach - patrún maighnéadach dírreach simplí leis an lárphóil amháin agus an imlíne atá os coinne. Maidir leis an gciorclán Magnetron, bheadh sé seo ina maighnéad babhta beagán beag sa lár, agus maighnéad fáinne neamhfhuaimneach den pholaraíocht os coinne ar an taobh amuigh agus bearna idir.


Maidir leis an Magnetron dronuilleogach, is iondúil go mbíonn barra síos ar an ais fhada (ach níos lú ná an fad iomlán) ag an ionad amháin le "fál" dronuilleogach den pholaitíocht os coinne ar fad ar a bhealach le bearna idir. Is é an bhearna ina mbeidh an plasma, fáinne ciorclach sa chiorclán Magnetron nó "rás-rian" fadtéarmach sa dronuilleogach. Tabhair faoi deara, go háirithe i gcatóidí níos mó, gur féidir leis na maighnéid roinnt deighleáin aonair seachas píosa soladach amháin.


Ós rud é go n-úsáidtear an t-ábhar sciathán catóide sprioc i PVD agus sputters ábhar, beidh tú in ann na tréithréithréithréith seo a fheiceáil ar an spriocdhírithe. Go deimhin, má bhíonn aon fhadhbanna maighnéadacha ar nós easpa, neamh-ainmnithe nó os cionn an leathanaigh, beidh an bealach creimeadh neamhghnácha agus is féidir go mbeadh sé seo ina dhearbhú maith diagnóisigh ar na fadhbanna sin laistigh de do chatóid Magnetron Sputtering.


Caithfidh treoshuíomh cuaille na maighnéid aonair a bheith den sórt sin go bhfuil cuaille amháin déanta ag an ionad, agus an cuaille os coinne ag an imlíne. Tá bealaí ann chun seo a dhéanamh. Is é an ceann is coitianta ná poill thuaidh / theas na maighnéid a shuiteáil ingearach le bplána an sprioc, cuaille amháin i dtreo an sprioc agus an ceann eile - an deireadh / an cuaille in aghaidh "saor in aisce" - go bréagach go maighnéadach leis na maighnéid eile ag pláta cuaille déanta as ábhar maighnéadach (de ghnáth neamhfheiriúil).


Dá bhrí sin, is é an ciorcad maighnéadach iomlán cuaille oscailte ó thuaidh de mhaighnéad amháin (nó slabhra maighnéid aonair más rud é nach bhfuil píosa amháin ann) agus a chol ó dheas os coinne leis an ábhar maighnéadach go dtí cuaille thuaidh eile, a bhfuil a chol ó dheas oscailte ansin. Tá an dá chríoch oscailte os coinne go maighnéadach i dtreo an sprioc agus na áirsí réimse maighnéadacha a eascraíonn os cionn dhromchla an sprioc chun an tollán ag gabháil leis an leictreon, an tollán ag díriú ar an plasma.


Tabhair faoi deara go n-oibríonn an PVD Magnetron le ailíniú maighnéadach - is féidir leis an ionad a bheith ó thuaidh agus is féidir leis an imlíne a bheith ó dheas, nó vice versa. Mar sin féin, i bhformhór na gcóras Planar Magnetron Sputtering, tá go leor cathóid i gceart gar do chéile, agus níl tú ag iarraidh go mbeadh réimsí fágtha ó thuaidh / theas idir na spriocanna.


Níor cheart go mbeadh na réimsí maighnéadacha N / S Magnetron ar aghaidh na spriocanna ach iad, agus na tolláin mhaighnéadacha atá ag teastáil ann a bheith ann. Ar an gcúis seo, tá sé inmhianaithe go hiomlán a chinntiú go bhfuil na cathóidí uile i gcóras amháin ailínithe ar an mbealach céanna, ó thuaidh go léir ar a n-imlíne, nó go léir ó dheas ar a n-imlíne. Agus le haghaidh áiseanna le córais sputter il, tá sé inmhianaithe freisin iad a dhéanamh go léir ionas go bhféadfar caidóidí a mhalartú go sábháilte idir na córais gan imní faoi ailíniú maighnéad.


Tá breithnithe agus roghanna breise ann maidir leis na maighnéid. Tá an chuid is mó d'ábhair sprioc neamh-mhaighnéadacha agus dá bhrí sin ní chuireann siad isteach ar an neart réimse maighnéadach is gá. Ach má tá tú ag sputtering ábhair mhaighnéadacha, mar shampla iarainn nó nicil, beidh ort maighnéid láidre níos airde, nó spriocanna níos déine, nó an dá cheann d'fhonn a sheachaint nach bhfuil an réimse maighnéadach dromchla ag baint as an spriocdhír mhaighnéadach go héifeachtach.


Seachas sin, is féidir na sonraí maighnéadacha, cosúil le neart maighnéadach agus toisí bearna, a dhearadh chun úsáid spriocdhírigh a fheabhsú, nó feabhas a chur ar aonfhoirmeacht feadh phríomhshuim sprioc dronuilleogach. Is féidir fiú leictreamaighnéid a úsáid in ionad maighnéadacha buan, rud a d'fhéadfadh a bheith ar chumas cuid de rialú ríomhchláraithe ar an réimse maighnéadach, ach ar ndóigh, déanann sé an chastacht agus an costas a mhéadú.


De ghnáth fuaraítear uisce ar chaidóidí sputter, ag plé le pláta taca copair go ginearálta a bhfuil uisce díreach fuaraithe, agus an sprioc bhanna nó clampáilte air. Agus i go leor cásanna tá na maighnéid lonnaithe taobh istigh den seaicéad uisce, i dteagmháil leis an uisce, agus is dócha go dteagmhálann an pláta cuaille i gcathóidí den sórt sin.


I gcásanna den sórt sin, is gá, dá bhrí sin, bearta iomchuí a dhéanamh chun creimeadh na maighnéid nó an phláta cuaille a sheachaint. Is féidir plátaí cuaille a mhonarú ó chóimhiotail mhaighnéadacha de chruach dhosmálta, mar shampla, chun creimeadh agus maighnéid a sheachaint a d'fhéadfadh difear a bheith ag nochtadh uisce, de réir a gcomhdhéanamh, ó thaobh plaisteach nó epocsa.


Tugann Planar Magnetrons, agus a ndúthchleasanna dlútháin, na maighnéadraí sprioc inséid clamp-in, cead don úsáideoir rátaí níos airde taiscí sputter a bhaint amach ná cathóidí cumraíochta dé-óid simplí. Tá siad in ann plasma a choinneáil ag brúnna gáis níos ísle, agus is féidir leis an bparaiméadar sin a oscailt le haghaidh coigeartú próiseas breise chun airíonna scannáin shonracha a bhaint amach a d'fhéadfadh a bheith ag teastáil.


Tá éagsúlacht mhór de chatóidí agus spriocanna den sórt sin ar fáil go tráchtála, lena n-áirítear roghanna éagsúla le haghaidh neart maighnéad agus leagan amach chun gnéithe áirithe den phróiseas a fheabhsú nuair is gá. Tá siad ina phríomhshuim de phróiseáil Magnetron PVD Sputter.


Le gléasra nua-aimseartha atá feistithe agus eolas luachmhar maidir le próisis, ábhair agus iarratais sciathán PVD scannán tanaí, forbraíonn Haohai Metal réitigh sciath PVD a thairgeann buntáistí fíor-iomaíochta ár gcustaiméirí, is comhpháirtí iontaofa atá againn i ndéantúsaíocht spriocanna sputtering ardchaighdeáin agus stua cathodes.


Soláthraíonn Haohai Metal (Haohai Titanium) raon leathan ábhar sciath i gcumraíocht éagsúil, cosúil le spriocanna sputtering rotatable, spriocanna sputtering planar, cathóidí stua, ábhair galúcháin agus breogáin in ábhair tatániam , siorcóiniam , cróimiam , hailiam , niobium , tannal , moluibdín , sileacain , tíotáiniam-alúmanaim , nicilcróimiam , sileacan alúmanam agus cróimiam-alúmanam etc